Tipps und Empfehlungen der ECL-Techniker
Zur Vermeidung kostenintensiver Kontaminierungen und Produktionsunterbrechungen müssen die in Waferstepper-Prozessen eingesetzten Schmierstoffe folgende Eigenschaften aufweisen: Verträglichkeit mit zahlreichen Materialien, außergewöhnliche Stabilität bei Kontakt mit aggressiven Chemikalien, einsetzbar bei niedrigem Drehmoment und niedrigem Dampfdruck (bis zu 10-12 Torr bei 25 °C) sowie äußerst geringes Ausgasen. Diese Eigenschaften sind für die Verwendung in Reinräumen der Klassen 1 bis 10 entscheidend.
Fluorierte Schmierstoffe erhöhen die Zuverlässigkeit und Lebensdauer von Motoren, Ventilen und Getrieben, indem sie für ein niedriges Drehmoment, geringe Leistungsverluste und eine minimale Wärmeerzeugung sorgen. Zudem sind fluorierte Schmierstoffe mit allen gebräuchlichen Materialien verträglich, aus denen Getriebe und Lager gefertigt werden.